Paddel med silikonhårdmetall
Produkt detaljerad och tillämpning
Stor waferbelastningskiselkiselkarbid SiSiC / SiC cantilever paddel / balk är lämplig för ett robot automatiskt lastnings- och hanteringssystem eftersom den har stabil prestanda, icke-deformation vid hög temperatur och stor waferbelastningskraft. Eftersom sektionen av utskjutspadern är stabil utan deformation är det möjligt att göra större skiva med befintliga ugnsrör. Stor skiva belastningskraft kiselkarbid SiSiC / SiC cantilever paddel / stråle kan appliceras på LPVCD på grund av dess liknande värmeutvidgningskoefficient med LPVCD-beläggning, vilket avsevärt förlänger underhålls- och rengöringscykeln och avsevärt minskar föroreningar.
Tekniska parametrar för reaktionsbunden kiselkarbid RBSIC:
| Artikel | enhet | data |
| Appliceringstemperatur | ℃ | 1380 |
| densitet | G / cm3 | > = 3,02 |
| Öppen porositet | % | <0,1 |
| Mohs skala av hårdhet | 13 | |
| Böjstyrka | MPa | 250 (20 ℃) |
| MPa | 280 (1200 ℃) | |
| Elasticitetsmodul | GPA | 330 (20 ℃) |
| GPA | 300 (1200 ℃) | |
| Värmeledningsförmåga | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| Värmeutvidgningskoefficient | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| Syrafast alkalisk | Excellent |
Funktioner:
a. Den deformeras inte vid hög temperatur och skivans belastningskraft är stor;
b. Utmärkt termisk chockmotstånd och lång livslängd;
c. Den utskjutande paddelns värmeutvidgningskoefficient är extremt liten, vilket förlänger underhålls- och rengöringscykeln avsevärt;
och drastiskt minska föroreningar
Övriga ugnsmöbler tillverkade av kiselkarbidkeramik
Förutom reaktionssintrad kiselkarbid SiSiC cantilever paddel för waferbelastning, producerar vi också andra ugnsmöbler inklusive RBSIC / SISIC kiselkarbidbjälkar, munstycksrör, spiralformat munstycksrör, virvelmunstycksrör, oxidbundet SIC-kiselkarbidbatterier / setterplatta och RBSIC-kylrör .
Använd resistenta RBSIC / SISIC-kiselkarbidprodukter
Eftersom vår RBSIC / SISIC-kiselkarbidprodukt har fördelarna med utmärkt slitstyrka, korrosionsbeständighet och lång livslängd, kan den också göras till slitstarka foder som enkelt kan installeras i bearbetningsrör eller cykloner.
